Marangoni 干燥 Marangoni 馬蘭戈尼干燥是基于 Marangoni 效應(yīng)發(fā)展起來(lái)的干燥技術(shù)。典型的 Marangoni 干燥過(guò)程如圖 4 所示。晶片進(jìn)入干燥系統(tǒng)后，在水槽內(nèi)溢流。由氮?dú)鈹y帶 IPA 氣體充滿系統(tǒng)，在水面上形成 IPA 氣體環(huán)境。隨后晶片與水面緩慢脫離（可通過(guò)晶片提拉上升或緩慢排水兩種方式實(shí)現(xiàn)） 由于 IPA 的表面張力比水小得多（25 ℃下，IPA 表面張力為 20.9×10-3 N/m；水的表面張力為 72.8×10-3 N/m），所以會(huì)在坡?tīng)钏鞅韺有纬杀砻鎻埩μ荻?，產(chǎn)生 Marangoni 對(duì)流，水被“吸回”水面，如下圖所示 雖然同樣是 IPA 干燥，但是 Marangoni 干燥與 IPA Vapor 干燥有本質(zhì)的不同，前者是通過(guò)表面張力梯度將水拉回水面，后者則是靠水的蒸發(fā)。 相比于IPA Vapor 干燥 ，Marangoni 干燥IPA 用量很少，且能夠克服深窄溝渠的脫水困難，比較適合直徑 150 mm ( 6 英寸) 以上晶片的干燥。Marangoni 干燥存在的問(wèn)題是晶片易出現(xiàn)水痕缺陷，晶片與晶舟接觸處、晶片下方是常見(jiàn)的水痕區(qū)域 。為消除水痕缺陷，這類設(shè)備中一般配備簡(jiǎn)易晶舟，以減少晶片與晶舟的接觸面積，另外，采用溫水浴、超聲波震蕩 IPA Bub- bler 和變速提拉等也是常用的消除水痕缺陷的手段。Marangoni 干燥(馬蘭戈尼干燥)受多種因素影響，如晶片的提拉速度，IPA/N2 流量和排風(fēng)的設(shè)置等，因此此種方法技術(shù)難度較高。作為濕制程設(shè)備制造商，華林科納（...
在線加熱器由過(guò)濾器改制而成，加熱絲有進(jìn)口加熱絲和國(guó)產(chǎn)加熱絲之分，采用低溫拉絲工藝，保證產(chǎn)品的尺寸，且有效防止加熱絲由于在加工過(guò)程中產(chǎn)生損耗，導(dǎo)致本身壽命的降低。加熱絲經(jīng)過(guò)加工后，進(jìn)行表面拉鐵氟龍材質(zhì)進(jìn)行保護(hù)?？梢栽谌魏位瘜W(xué)品中進(jìn)行加熱。鐵氟龍材質(zhì)采用大金原材料，保證了產(chǎn)品的質(zhì)量，且會(huì)按照客戶使用提出更加合適的鐵氟龍配方，應(yīng)對(duì)各種復(fù)雜的應(yīng)用場(chǎng)景。 加熱絲拉氟完成后，進(jìn)行計(jì)算，按照功率計(jì)算出米數(shù)，進(jìn)行后套加工，完成后安裝到在線加熱器當(dāng)中。加熱器帶有華林科納自研的控制器，控制器可是加熱器更加安全有效的工作。本公司生產(chǎn)的加熱器是專門用于各種具有腐蝕作用液體加熱的一種加熱器，采用進(jìn)口pt100Q，和高溫型k型熱電偶，具有使用壽命長(zhǎng)、不腐蝕、不漏電、安全可靠以及優(yōu)良的抗老化性和比較好的繞曲性能等優(yōu)勢(shì);為保證使用安全，接頭采取完全封閉式的設(shè)計(jì)，可以有效防酸堿，同時(shí)冷端及過(guò)熱安全保護(hù)系統(tǒng)可完全按照客戶需要定制。
1.外型結(jié)構(gòu)緊湊美觀2.本體重量輕容易安裝3.耐腐蝕性能強(qiáng)，應(yīng)用范圍廣4.材質(zhì)衛(wèi)生無(wú)毒5.耐磨損，容易拆卸，維護(hù)簡(jiǎn)單易行。
隔膜閥采用高流量的緊湊型設(shè)計(jì)，隔膜可使流道內(nèi)的腐蝕性介質(zhì)與所有驅(qū)動(dòng)部件處?kù)锻耆綦x的狀態(tài)，從而杜絕了通常閥門的“跑、冒、滴、漏”等弊端。由于隔膜閥的流道平滑，流阻小，故而可獲得較大的流量。根據(jù)流體，可選膜片：EPDM / FPM / PTFE，因此具有優(yōu)越的耐腐蝕的特點(diǎn)。本閥由閥體、閥蓋、隔膜和其它驅(qū)動(dòng)零件等組成。
隔膜閥采用高流量的緊湊型設(shè)計(jì)，隔膜可使流道內(nèi)的腐蝕性介質(zhì)與所有驅(qū)動(dòng)部件處?kù)锻耆綦x的狀態(tài)，從而杜絕了通常閥門的“跑、冒、滴、漏”等弊端。由于隔膜閥的流道平滑，流阻小，故而可獲得較大的流量。根據(jù)流體，可選膜片：EPDM / FPM / PTFE，因此具有優(yōu)越的耐腐蝕的特點(diǎn)。本閥由閥體、閥蓋、隔膜和其它驅(qū)動(dòng)零件等組成。
![種植體全自動(dòng)腐蝕清洗機(jī)設(shè)備]( "種植體全自動(dòng)腐蝕清洗機(jī)設(shè)備")
種植體全自動(dòng)腐蝕清洗機(jī)設(shè)備——華林科納CSE設(shè)備名稱種植體全自動(dòng)腐蝕清洗設(shè)備適用領(lǐng)域醫(yī)療種植體系統(tǒng)設(shè)備用途種植體化學(xué)腐蝕和清洗的設(shè)備基本介紹主要功能：通過(guò)對(duì)清洗物腐蝕、噴砂→清洗→酸腐蝕→清洗等方式進(jìn)行處理，從而達(dá)到一個(gè)用戶要求的效果設(shè)備形式：室內(nèi)放置型操作形式：自動(dòng)設(shè)備制造商華林科納（江蘇）半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 www.wxyzlgp.cn 0513-87733829；18051335986 在種植體制造過(guò)程中,完成種植體的機(jī)械塑形后,需要將種植體浸入酸液里,對(duì)表面進(jìn)行陽(yáng)極處理,它會(huì)使表面形成多個(gè)孔洞,增進(jìn)種植體與病人頜骨之間的緊密結(jié)合。經(jīng)歷了酸液的陽(yáng)極處理后,將會(huì)轉(zhuǎn)移到最后一道清潔工序,在清潔槽內(nèi)通過(guò)超聲波清洗,形成氣泡和水波,輕輕地刷洗種植體,完成種植體的清潔,完成種植體的成品制造。種植體表面腐蝕清洗的主要目的是要讓鈦更好更快地與人骨結(jié)合,在表面進(jìn)行涂層處理技術(shù)后,進(jìn)行表面粗化技術(shù),以便獲得某種粗糙的表面,以增大表面積,這可使頜骨與種植體間的結(jié)合面積大大增加。目前,種植體的表面處理工藝較為常見(jiàn)的基本過(guò)程為:清洗→噴砂→清洗→酸腐蝕→清洗,多次清洗是為了實(shí)現(xiàn)不同的目的。第一次清洗主要是為了在噴砂前清洗除污,第二次清洗則是為了去除噴砂后殘留雜質(zhì),第三次是為了去除酸腐蝕后的酸液殘留。第二步的噴砂加工工藝,是為了進(jìn)行表面粗化處理,一般噴砂介質(zhì)為氧化鋁砂,粒度根據(jù)表面粗化特性來(lái)定義。第四步的酸腐蝕加工,酸溶液的選擇比較靈活,一般可使用強(qiáng)酸溶液(如硝酸、鉻酸等)、強(qiáng)酸混合溶液(如硫酸和鹽酸混合溶液)、強(qiáng)酸和中強(qiáng)酸混合溶液(如硝酸和氫氟酸混合溶液)等,使用酸液能夠有效地達(dá)到粗化目的,又不會(huì)在表面上產(chǎn)生有害物質(zhì)。這與半導(dǎo)體集成電路工藝過(guò)程中的刻蝕清洗方式極為相似,作為國(guó)內(nèi)先進(jìn)的濕制程專業(yè)制造商,華林科納半導(dǎo)體設(shè)備有限公司在集成...
紅外器件清洗機(jī)設(shè)備名稱：紅外器件清洗機(jī)-CSE產(chǎn)品特點(diǎn)：設(shè)備由預(yù)洗槽、超聲波清洗槽、漂洗槽、超聲波電源柜等組成。清洗槽材質(zhì)為不銹鋼，經(jīng)久耐用。預(yù)洗槽底部設(shè)置了壓力噴嘴，使浸泡過(guò)程中靜止的液體變?yōu)榱鲃?dòng)的液體，上下翻滾，形成湍流，有效去除散熱片狹縫中的污物。超聲波清洗槽底部、側(cè)面均設(shè)置了換能器，使被清洗的工件表面得到均勻的聲強(qiáng)。在超聲作用下，采用水劑代替煤油或有機(jī)溶劑進(jìn)行清洗，可顯著降低清洗成本。更多半導(dǎo)體設(shè)備可以關(guān)注華林科納（江蘇）半導(dǎo)體設(shè)備官網(wǎng)www.wxyzlgp.cn；現(xiàn)在咨詢400-8768-096，18913575037，可立即免費(fèi)獲取華林科納CSE提供的設(shè)備相關(guān)方案
![溝槽腐蝕機(jī)]( "溝槽腐蝕機(jī)")
溝槽腐蝕機(jī)-CSE概述1.1 設(shè)備概況：主要功能：本設(shè)備主要手動(dòng)搬運(yùn)方式，通過(guò)對(duì)si片腐蝕、漂洗、等方式進(jìn)行處理，從而達(dá)到一個(gè)用戶要求的效果。1.1.1 設(shè)備名稱：溝槽腐蝕機(jī)1.1.2 設(shè)備型號(hào)：CSE-SC-N6011.1.3 整機(jī)尺寸(參考)：約2000mm（L）×1400mm(W)×2000mm(H)；1.1.4 被清洗硅片尺寸：5寸/6寸1.1.5 設(shè)備形式:室內(nèi)放置型;1.1.6 操作形式：手動(dòng)1.2 設(shè)備組成該設(shè)備主要由清洗部分、抽風(fēng)系統(tǒng)及電控部分組成設(shè)備工藝走向：參照本方案臺(tái)面布局圖1.3 設(shè)備描述●此裝置是一個(gè)半自動(dòng)的處理設(shè)備。●8.0英寸PROFACE 人機(jī)界面顯示 / 檢測(cè) / 操作●主體材料：10mmPP板，優(yōu)質(zhì)不銹鋼骨架，外包3mmPP板防腐；●化學(xué)槽槽體材料：德國(guó)勞士領(lǐng) 10mm PVDF板；●純水槽槽體材料：德國(guó)勞士領(lǐng) 10mm NPP板；●臺(tái)面板為10mm PP板（帶有菱形漏液孔）；●DIW主管路及構(gòu)件采用日本進(jìn)口clean-PVC管材，支管路及閥件采用PFA材質(zhì)，需滿足18M去離子水水質(zhì)要求；酸 堿管路材質(zhì)為進(jìn)口PFA/PVDF；●采用國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)加工，焊接組裝均在萬(wàn)級(jí)凈化間內(nèi)完成●排風(fēng)：位于機(jī)臺(tái)后下部●工作照明：上方防酸型白光照明●歐姆龍/三菱 PLC控制?！癜踩紤]：1. 設(shè)有EMO(急停裝置)， 2. 強(qiáng)電弱點(diǎn)隔離3. 所有電磁閥均高于工作槽體工作液面4. 電控箱正壓裝置（CDA Purge）5. 設(shè)備三層防漏 樓盤傾斜 漏液報(bào)警 設(shè)備整體置于防漏托盤內(nèi)6. 排放管路加過(guò)濾裝置7 排液按鈕具有連鎖功能。啟動(dòng)排液時(shí)，同時(shí)切斷泵啟動(dòng)。8 槽內(nèi)配液位開(kāi)關(guān)，無(wú)液不循環(huán)。更多半導(dǎo)體設(shè)備可以關(guān)注華林科納（江蘇）半導(dǎo)體設(shè)備官網(wǎng)www.wxyzlgp.cn；現(xiàn)...
陶瓷盤清洗機(jī)-CSE設(shè)備名稱：陶瓷盤清洗機(jī)-華林科納CSE設(shè)備外型結(jié)構(gòu)及主要參數(shù) 控制模式: 手動(dòng)控制模式 自動(dòng)控制模式。 清洗對(duì)象：陶瓷盤 設(shè)備形式: 室內(nèi)放置型。 尺寸(參考，詳見(jiàn)圖紙，含地腳)：3000 mm(L)× 1500 mm(W)× 2200 mm(H)。 機(jī)臺(tái)總體結(jié)構(gòu)暫定分為兩部分，機(jī)械運(yùn)行機(jī)構(gòu)裝置與機(jī)臺(tái)前方；機(jī)臺(tái)前方為清洗工作區(qū)域及機(jī)械行走區(qū)，機(jī)臺(tái)后上方為電器和氣路布置區(qū)域，后下方為液路布置區(qū)域。更多半導(dǎo)體設(shè)備可以關(guān)注華林科納（江蘇）半導(dǎo)體設(shè)備官網(wǎng)www.wxyzlgp.cn；現(xiàn)在咨詢400-8768-096，18913575037，可立即免費(fèi)獲取華林科納CSE提供的設(shè)備相關(guān)方案
![兆聲波清洗機(jī)-CSE]( "兆聲波清洗機(jī)-CSE")
兆聲波清洗機(jī)—華林科納CSE Mega sonic cleaning machine華林科納（江蘇）CSE-兆聲波清洗機(jī) 適用于硅晶片 藍(lán)寶石晶片 砷化鎵晶片 磷化銦晶片 碳化硅晶片 石英晶片可處理晶片尺寸2'-8'；可處理晶圓材料：硅 砷化鎵 磷化銦 氮化鎵 碳化硅 鈮酸鋰 鉭酸鋰等；主要應(yīng)用領(lǐng)域：半導(dǎo)體 太陽(yáng)能光伏 液晶等 設(shè)備名稱CSE-兆聲波清洗機(jī)類型槽式尺寸(參考)約3500（L）×1350 (W)×2300mm (H)清洗件規(guī)格4” 2籃50片設(shè)備凈重1T運(yùn)行重量1.5T±10%電源380v 50hz 功率70kw槽體尺寸200mm*400mm*260mm槽數(shù)6個(gè)操作方式手動(dòng)/半自動(dòng)/全自動(dòng)適用規(guī)格2英寸-8英寸適用領(lǐng)域半導(dǎo)體、太陽(yáng)能、液晶等 設(shè)備穩(wěn)定性1、清洗良品率≥99%2、≥0.2um顆粒少于10顆 產(chǎn)品簡(jiǎn)介1設(shè)備機(jī)架采用不銹鋼骨架外包PP板，耐酸堿腐蝕；2電氣區(qū)設(shè)置在設(shè)備后上部，與濕區(qū)和管路區(qū)完全隔離；3槽體材料選用耐相應(yīng)溶液腐蝕的材料；4機(jī)械手探入濕區(qū)部分的零部件表面噴氟或套PFA管處理；5設(shè)備排風(fēng)采用頂部百級(jí)FFU送新風(fēng)，臺(tái)面下抽風(fēng)，每套工藝清洗槽都有自動(dòng)開(kāi)閉的槽蓋，槽蓋下有單獨(dú)的抽風(fēng)裝置，排風(fēng)口處設(shè)有自動(dòng)調(diào)節(jié)風(fēng)門，即上電打開(kāi)風(fēng)門，斷電關(guān)閉風(fēng)門，具有風(fēng)壓檢測(cè)功能，以及氮?dú)?、壓縮空氣壓力報(bào)警功能；6溶液槽中藥液自動(dòng)供液按設(shè)定好比例混合，并可在工作過(guò)程中根據(jù)設(shè)定補(bǔ)液；客戶根據(jù)自身工藝條件自行設(shè)定；7臺(tái)面為多孔結(jié)構(gòu)，便于臺(tái)面上沖洗水、液的排出；8操作面設(shè)有透明PVC安全門；9設(shè)備設(shè)有漏電、急停、液位、過(guò)溫、安全門開(kāi)、漏液、超時(shí)等保護(hù)和報(bào)警裝置，保證設(shè)備的安全可靠；10配備有進(jìn)口PFA，水、氣槍各一。 更多半導(dǎo)體兆聲清洗...
片盒清洗機(jī)-華林科納CSE 設(shè)備概況：主要功能：本設(shè)備主要手動(dòng)/自動(dòng)搬運(yùn)方式，通過(guò)對(duì)片盒化學(xué)液體浸泡、沖洗、漂洗、鼓泡、快排等方式進(jìn)行處理，從而達(dá)到一個(gè)用戶要求的效果。設(shè)備名稱：片盒清洗機(jī)設(shè)備型號(hào)：CSE-SC-N259整機(jī)尺寸(參考)：約1700mm（L）×1400mm(W)×2000mm(H)；（該設(shè)備非標(biāo)定制）操作形式：手動(dòng) 設(shè)備組成該設(shè)備主要由清洗部分、抽風(fēng)系統(tǒng)及電控部分組成 設(shè)備描述此裝置是一個(gè)手動(dòng)的處理設(shè)備；設(shè)備前上方有各閥門、工藝流程的控制按鈕、指示燈、觸摸屏(PROFACE/OMRON)、音樂(lè)盒等，操作方便；主體材料：德國(guó)進(jìn)口 10mmPP 板，優(yōu)質(zhì)不銹鋼骨架，外包 3mmPP 板防腐；臺(tái)面板為德國(guó) 10mm PP 板；DIW 管路及構(gòu)件采用日本進(jìn)口 clean-PVC 管材，需滿足 18MW去離子水水質(zhì)要求；采用國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)加工，焊接組裝均在萬(wàn)級(jí)凈化間內(nèi)完成排風(fēng)：位于機(jī)臺(tái)后上部工作照明：上方防酸照明安全考慮：1. 設(shè)有 EMO(急停裝置)2. 強(qiáng)電弱點(diǎn)隔離3. 所有電磁閥均高于工作槽體工作液面4. 設(shè)備排風(fēng)口加負(fù)壓檢測(cè)表5. 設(shè)備三層防漏 漏盤傾斜 漏液報(bào)警 設(shè)備整體置于防漏托盤內(nèi) 更多的花籃和片盒清洗機(jī)設(shè)備相關(guān)資訊可以關(guān)注華林科納CSE官網(wǎng)（www.wxyzlgp.cn），現(xiàn)在熱線咨詢400-8768-096 18913575037可立即獲取免費(fèi)的片盒清洗機(jī)解決方案。