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摘要

? ? ? ?半導體生產設備的生產控制是一項非常復雜和耗時的任務。定義了設備性能參數的不同需求由客戶和設施管理。這些要求通常是反對的，而且有效策略的定義并不簡單。在半導體制造中，常用的可用生產控制系統(tǒng)優(yōu)先級定義每個生產批次的重要性。生產批次按順序排列

? ? ? 根據定義的優(yōu)先級。這個過程稱為調度。優(yōu)先級配置是由特殊的算法來實現的。在文學中，有很多不同的策略規(guī)則是可用的。對于半導體代工業(yè)務來說，有非常需要的靈活且可適應的策略，將設備狀態(tài)和已定義的需求納入帳戶。在我們的情況下，生產過程的特點是低量高混合產品組合。這種組合會導致額外的穩(wěn)定性問題和性能滯后。不穩(wěn)定的特性增加了對合理生產控制邏輯的影響。本文提出了一種非常靈活、適應性強的生產控制策略。這一政策是基于真實生產數據的詳細設施模型。數據被提取出來從一個真正的高混合低產量的半導體工廠。調度策略幾個調度規(guī)則。不同的需求，如線平衡，吞吐量優(yōu)化準時交貨的目標也可以考慮在內。自動化的詳細設施模型計算了不同調度規(guī)則的半最優(yōu)組合定義目標函數。目標函數包含了不同的需求管理和客戶。采用遺傳啟發(fā)式算法求解快速有效地找到一個接近最優(yōu)解。該策略是通過實際生產數據進行評估的。分析與詳細該工廠的設備模型顯示，多個設備的平均改善幅度為5%至8%性能參數，如每個掩模層的周期時間。最后在一個典型的高混疊低容量半導體器件上實現并應用了該方法。系統(tǒng)實現基于JAVA實現。這個實現包括常見的最新技術，如web服務。該系統(tǒng)取代了舊的生產控制解決方案。除了調度算法，生產策略中還包含了跳過的可能性在確定的邊界條件下的幾個計量操作。在現實生活中

? ? ? 過程中，不是所有的計量操作對每個批次都是必要的。本文對取樣機制對生產過程的影響。解決方案包括在內進入系統(tǒng)實現框架，將不同的采樣規(guī)則分配給不同的計量操作。評估顯示在瓶頸情況下有了更大的改善。經過對兩種系統(tǒng)的有效引進和使用，取得了較好的實際效果

評估。員工調查結果顯示，員工對該系統(tǒng)的接受程度及反應良好。此外對績效衡量的積極影響是可見的。實施的系統(tǒng)變成了一個真正的半導體設備的日常工具的一部分。

介紹

? ? ? 變型和變化是半導體代工業(yè)務的兩個主要特征(SFB)。多變的商業(yè)模式，不同的技術和產品任務、客戶訂單的變化和新技術對客戶的滿意度有很大的影響整個生產過程。新客戶對產品的個性化要求更高是該行業(yè)的主要趨勢之一。條件的迅速變化取代了一切昨天的算法和解題方法。當時的半導體業(yè)務并不像現在這么復雜。Semicon半導體應用從20世紀初開始使用。在1906年李森林砍伐使世界上第一個真空管得以發(fā)展。這項發(fā)明為新媒體讓路，如收音機、電視和其他電子設備。此外,真空1947年，電子管被用于世界上第一臺電子計算機(ENIAC)。12月23日1947年，第一個像真空管一樣工作的裝置用半導體材料設計出來。

? ? ? 這種元件叫做轉移電阻，也叫晶體管。在1959年第一個集成電路是由德州儀器的工程師杰克·基爾比開發(fā)的。他用一塊半導體材料構成了完整的電路。他結合幾個晶體管，二極管和電容器。 ?略

? ? ?本文講述半導體制造，術語和定義，基本關系等問題

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