多晶硅鑄錠硅片清洗設(shè)備，包括裝置主體、升降機(jī)構(gòu)(2)和清洗機(jī)構(gòu)(9)，其特征在于：所述裝置主體包括加工箱體(1)、拋光軸(3)、驅(qū)動(dòng)機(jī)(4)、轉(zhuǎn)軸(5)、內(nèi)箱(6)、集水槽(7)、泵體(8)和支腿(10)，所述支腿(10)設(shè)置在加工箱體(1)下端面，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)(4)設(shè)置在加工箱體(1)頂端面中間位置，所述轉(zhuǎn)軸(5)轉(zhuǎn)動(dòng)連接在加工箱體(1)內(nèi)部，且與驅(qū)動(dòng)機(jī)(4)的輸出端傳動(dòng)連接，所述拋光軸(3)設(shè)置在轉(zhuǎn)軸(5)上，所述集水槽(7)設(shè)置在加工箱體(1)

內(nèi)部底端面，所述內(nèi)箱(6)位于集水槽(7)上方；

所述升降機(jī)構(gòu)(2)設(shè)置在加工箱體(1)內(nèi)部上側(cè)，所述升降機(jī)構(gòu)(2)包括電機(jī)一(21)、滑

輪(22)、傳動(dòng)軸(23)和繩索(24)，所述傳動(dòng)軸(23)轉(zhuǎn)動(dòng)連接在加工箱體(1)內(nèi)部靠上部位，

所述滑輪(22)設(shè)有兩個(gè)，兩個(gè)滑輪(22)對(duì)稱轉(zhuǎn)動(dòng)連接在傳動(dòng)軸(23)上，所述滑輪(22)通過(guò)

繩索(24)與內(nèi)箱(6)固定連接，所述傳動(dòng)軸(23)與電機(jī)一(21)的輸出端傳動(dòng)連接；所述清洗機(jī)構(gòu)(9)包括輔助清潔組件(91)和電機(jī)二(92)，所述電機(jī)二(92)設(shè)置在加工箱體(1)底端面，所述輔助清潔組件(91)設(shè)有兩個(gè)，兩個(gè)所述輔助清潔組件(91)對(duì)稱設(shè)置在加工箱體(1)內(nèi)部，所述輔助清潔組件(91)包括支架(911)、高壓噴頭(912)、滑塊(913)、齒條(914)、齒輪(915)和安裝軸(916)，所述齒條(914)通過(guò)滑塊(913)滑動(dòng)連接在加工箱體(1)內(nèi)部，所述齒輪(915)通過(guò)安裝軸(916)轉(zhuǎn)動(dòng)連接在加工箱體(1)內(nèi)部，所述齒輪(915)的齒槽與齒條(914)的齒槽相嚙合，所述高壓噴頭(912)銅鼓支架(911)與齒條(914)固定連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅鑄錠硅片清洗設(shè)備，其特征在于：所述支腿(10)設(shè)

有四個(gè)，四個(gè)所述支腿(10)分別設(shè)置在加工箱體(1)下端面四個(gè)棱角處。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅鑄錠硅片清洗設(shè)備，其特征在于：所述加工箱體

(1)前端面鉸接有箱門(11)，箱門(11)中間位置設(shè)置有透明觀察窗(13)，箱門(11)前端面上側(cè)設(shè)置有把手(12)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅鑄錠硅片清洗設(shè)備，其特征在于：所述泵體(8)通

過(guò)軟管與高壓噴頭(912)連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅鑄錠硅片清洗設(shè)備，其特征在于：所述內(nèi)箱(6)底

端面開(kāi)設(shè)有漏孔(a)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅鑄錠硅片清洗設(shè)備，其特征在于：所述集水槽(7)

內(nèi)部設(shè)置有過(guò)濾網(wǎng)，且過(guò)濾網(wǎng)為雙層結(jié)構(gòu)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅鑄錠硅片清洗設(shè)備，其特征在于：兩個(gè)所述安裝軸

(916)之間通過(guò)同步帶傳動(dòng)連接，且安裝軸(916)與電機(jī)二(92)的輸出端傳動(dòng)連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅鑄錠硅片清洗設(shè)備，其特征在于：所述拋光軸(3)

設(shè)有若干個(gè)，若干個(gè)所述拋光軸(3)呈環(huán)形等距排布于轉(zhuǎn)軸(5)環(huán)形側(cè)面。

?

圖1

?

圖2

?

圖3

?

圖4

圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明的外部結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本發(fā)明中升降機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本發(fā)明中升清洗機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖標(biāo)記中：1.加工箱體；2.升降機(jī)構(gòu)；3.拋光軸；4.驅(qū)動(dòng)機(jī)；5.轉(zhuǎn)軸；6.內(nèi)箱；7.集水槽；8.泵體；9.清洗機(jī)構(gòu)；10.支腿；11.箱門；12.把手；13.透明觀察窗；21.電機(jī)一：22.滑輪；23.傳動(dòng)軸；24.繩索；91.輔助清潔組件；92.電機(jī)二；911.支架；912.高壓噴頭；913.滑塊；914.齒條；915.齒輪；916.安裝軸。

多晶硅鑄錠硅片清洗設(shè)備，包括裝置主體、升降機(jī)構(gòu)2和清洗機(jī)構(gòu)9，裝置主體包括加工箱體1、拋光軸3、驅(qū)動(dòng)機(jī)4、轉(zhuǎn)軸5、內(nèi)箱6、集水槽7、泵體8和支腿10，支腿10設(shè)置在加工箱體1下端面，驅(qū)動(dòng)機(jī)4設(shè)置在加工箱體1頂端面中間位置，轉(zhuǎn)軸5轉(zhuǎn)動(dòng)連接在加工箱體1內(nèi)部，且與驅(qū)動(dòng)機(jī)4的輸出端傳動(dòng)連接，拋光軸3設(shè)置在轉(zhuǎn)軸5上，集水槽7設(shè)置在加工箱體1內(nèi)部底端面，內(nèi)箱6位于集水槽7上方。

升降機(jī)構(gòu)2設(shè)置在加工箱體1內(nèi)部上側(cè)，升降機(jī)構(gòu)2包括電機(jī)一21、滑輪22、傳動(dòng)軸23和繩索24，傳動(dòng)軸23轉(zhuǎn)動(dòng)連接在加工箱體1內(nèi)部靠上部位，滑輪22設(shè)有兩個(gè)，兩個(gè)滑輪22對(duì)稱轉(zhuǎn)動(dòng)連接在傳動(dòng)軸23上，滑輪22通過(guò)繩索24與內(nèi)箱6固定連接，傳動(dòng)軸23與電機(jī)一21的輸出端傳動(dòng)連接。

清洗機(jī)構(gòu)9包括輔助清潔組件91和電機(jī)二92，電機(jī)二92設(shè)置在加工箱體1底端面，輔助清潔組件91設(shè)有兩個(gè)，兩個(gè)輔助清潔組件91對(duì)稱設(shè)置在加工箱體1內(nèi)部，輔助清潔組件91包括支架911、高壓噴頭912、滑塊913、齒條914、齒輪915和安裝軸916，齒條914通過(guò)滑塊913滑動(dòng)連接在加工箱體1內(nèi)部，齒輪915通過(guò)安裝軸916轉(zhuǎn)動(dòng)連接在加工箱體1內(nèi)部，齒輪915的齒槽與齒條914的齒槽相嚙合，高壓噴頭912銅鼓支架911與齒條914固定連接，本發(fā)明結(jié)構(gòu)優(yōu)良，設(shè)計(jì)合理，操作簡(jiǎn)便，消除拋光死角，拋光清洗二合一，具有廣泛地應(yīng)用前景，創(chuàng)造性強(qiáng)。

支腿10設(shè)有四個(gè)，四個(gè)支腿10分別設(shè)置在加工箱體1下端面四個(gè)棱角處，加工箱體1前端面鉸接有箱門11，箱門11中間位置設(shè)置有透明觀察窗13，箱門11前端面上側(cè)設(shè)置有把手12，泵體8通過(guò)軟管與高壓噴頭912連接，內(nèi)箱6底端面開(kāi)設(shè)有漏孔a，集水槽7內(nèi)部設(shè)置有過(guò)濾網(wǎng)，且過(guò)濾網(wǎng)為雙層結(jié)構(gòu)，兩個(gè)安裝軸916之間通過(guò)同步帶傳動(dòng)連接，且安裝軸916與電機(jī)二92的輸出端傳動(dòng)連接，拋光軸3設(shè)有若干個(gè)，若干個(gè)拋光軸3呈環(huán)形等距排布于轉(zhuǎn)軸5環(huán)形側(cè)面。

本發(fā)明在工作時(shí)：將硅片物料投入內(nèi)箱6，運(yùn)行電機(jī)一21，電機(jī)一21的輸出端轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)傳動(dòng)軸23轉(zhuǎn)動(dòng)，傳動(dòng)軸23帶動(dòng)滑輪22轉(zhuǎn)動(dòng)，滑輪22通過(guò)繩索24拉動(dòng)內(nèi)箱6向上移動(dòng)，使拋光軸3進(jìn)入內(nèi)箱6內(nèi)部，運(yùn)行驅(qū)動(dòng)機(jī)4，驅(qū)動(dòng)機(jī)4的輸出端轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)轉(zhuǎn)軸5轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)軸5帶動(dòng)拋光軸3轉(zhuǎn)動(dòng)，拋光軸3對(duì)硅片物料進(jìn)行拋光操作，拋光完畢后，反向運(yùn)行電機(jī)一21，同理，使內(nèi)箱6在加工箱體1內(nèi)向下移動(dòng)，并與集水槽7相接觸，運(yùn)行電機(jī)二92，電機(jī)二92的輸出端轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)安裝軸916轉(zhuǎn)動(dòng)，安裝軸916帶動(dòng)齒輪915轉(zhuǎn)動(dòng)，齒輪915帶動(dòng)齒條914移動(dòng)，兩個(gè)齒條914做相向運(yùn)動(dòng)，帶動(dòng)噴頭向內(nèi)向移動(dòng)至內(nèi)箱6上側(cè)，泵體8將水輸送至高壓噴頭912，高壓噴頭912對(duì)硅片物料進(jìn)行清洗操作，多余的水經(jīng)過(guò)漏孔a向下流動(dòng)，并過(guò)濾后，進(jìn)入集水槽7底部，以供循環(huán)利用，節(jié)約水資源，從而解決了傳統(tǒng)的硅片加工，清洗設(shè)備和拋光設(shè)備屬于兩種設(shè)備，先后加工，延長(zhǎng)了加工的時(shí)間，設(shè)備間的配合度較低，且拋光過(guò)程中，加工箱體1位置固定，拋光會(huì)留有死角，導(dǎo)致拋光不徹底的問(wèn)題。

以上顯示和描述了本發(fā)明的基本原理和主要特征和本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)，對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，顯然本發(fā)明不限于上述示范性實(shí)施例的細(xì)節(jié)，而且在不背離本發(fā)明的精神或基本特征的情況下，能夠以其他的具體形式實(shí)現(xiàn)本發(fā)明。因此，無(wú)論從哪一點(diǎn)來(lái)看，均應(yīng)將實(shí)施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本發(fā)明的范圍由所附權(quán)利要求而不是上述說(shuō)明限定，因此旨在將落在權(quán)利要求的等同要件的含義和范圍內(nèi)的所有變化囊括在本發(fā)明內(nèi)。不應(yīng)將權(quán)利要求中的任何附圖標(biāo)記視為限制所涉及的權(quán)利要求。

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