2.浙江金瑞泓全面建成8英寸硅片規(guī)?；a(chǎn)線；
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企業(yè)負(fù)責(zé)人展示生產(chǎn)的半導(dǎo)體硅片
浙江在線寧波5月16日訊(浙江在線記者 趙磊 通訊員 王虎羽)隨著電子產(chǎn)品的快速發(fā)展，作為集成電路產(chǎn)業(yè)鏈的上游，硅片的研發(fā)生產(chǎn)成為支撐整個產(chǎn)業(yè)鏈最重要、應(yīng)用最廣泛的基礎(chǔ)功能關(guān)鍵環(huán)節(jié)。目前，國內(nèi)8英寸硅片需求約為每月70萬片，約90%需依靠進口。而近10萬片的國產(chǎn)硅片份額中，64%出自寧波的浙江金瑞泓科技股份有限公司的生產(chǎn)車間。
近日，“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”國家科技重大專項(02專項)實施管理辦公室在寧波組織召開02專項正式驗收會。金瑞泓科技公司承擔(dān)的“8英寸硅片研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化及12英寸硅片關(guān)鍵技術(shù)研究”項目順利通過驗收。相關(guān)專家表示，該項目的順利驗收，標(biāo)志著我國8英寸半導(dǎo)體硅片的大批量生產(chǎn)得以實現(xiàn)，藉此有望打破國外對8英寸半導(dǎo)體硅片高度壟斷的局面，極大地縮小我國與國際半導(dǎo)體硅片行業(yè)生產(chǎn)水平間的差距。
據(jù)了解，重大專項是為了實現(xiàn)國家目標(biāo)，通過核心技術(shù)突破和資源集成，在一定時限內(nèi)完成的重大戰(zhàn)略產(chǎn)品、關(guān)鍵共性技術(shù)和重大工程。《國家中長期科學(xué)和技術(shù)發(fā)展規(guī)劃綱要(2006-2020)》確定了大型飛機等16個重大專項。這些重大專項是我國到2020年科技發(fā)展的重中之重。“極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝專項”屬于專項中的第二項，所以簡稱為“02專項”。
全面建成8英寸硅片規(guī)?；a(chǎn)線
半導(dǎo)體行業(yè)龍頭順利通過專項驗收
此次項目驗收會的專家組由國家科技重大專項咨詢委專家、行業(yè)資深技術(shù)專家、知識產(chǎn)權(quán)專家、財務(wù)專家組成等17位專家組成。專家組在聽取公司報告、現(xiàn)場測試報告和現(xiàn)場考察等之后，一致認(rèn)為金瑞泓科技已經(jīng)建成8英寸硅片的全系列先進生產(chǎn)線，形成月產(chǎn)8英寸硅拋光片12萬片，硅外延片5萬片能力。目前該項目共申請了國家專利52件，其中35件發(fā)明專利獲得授權(quán)。
企業(yè)所生產(chǎn)的8英寸硅片產(chǎn)品目前通過了包括華潤上華、華虹宏力、中芯國際及中航微電子等排行國內(nèi)前十名的主流集成電路制造企業(yè)的采購認(rèn)證與使用，產(chǎn)品質(zhì)量達到國際先進水平。目前金瑞泓的8寸硅片已占到國產(chǎn)市場份額的64%，占國內(nèi)市場(含進口硅片)的6.3%。
承擔(dān)國家科技重大專項(02專項)的金瑞泓科技目前是國內(nèi)唯一具有硅單晶錠、硅研磨片、硅拋光片、硅外延片完整產(chǎn)業(yè)鏈的半導(dǎo)體企業(yè)，是我國半導(dǎo)體硅材料行業(yè)的龍頭企業(yè)，在由中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會在2015年開始舉辦的中國半導(dǎo)體材料十強企業(yè)評選中，連續(xù)榮獲2015、2016年度第一名。此次專家組一致同意金瑞泓科技承擔(dān)的02專項項目通過驗收，企業(yè)負(fù)責(zé)人表示是業(yè)內(nèi)專家對公司長期以來專注于半導(dǎo)體硅片業(yè)務(wù)并取得重要技術(shù)成就的充分肯定。
打破國外壟斷
我國大直徑硅片產(chǎn)業(yè)化步伐有望加快
“作為集成電路制造業(yè)最大宗的關(guān)鍵材料，大尺寸硅片一直依賴進口，嚴(yán)重制約我國集成電路產(chǎn)業(yè)競爭力和供應(yīng)鏈安全。大尺寸半導(dǎo)體硅片的產(chǎn)業(yè)化，是02專項核心任務(wù)之一?！?02專項技術(shù)總師、中國科學(xué)院微電子研究所所長葉甜春如是說。
在驗收總結(jié)時，葉甜春對金瑞泓科技在02專項實施期間取得的重要技術(shù)成就給予了充分肯定，希望企業(yè)進一步加大8英寸硅片的市場開發(fā)力度，推廣相關(guān)成果應(yīng)用，以更加開放包容的姿態(tài)把企業(yè)做大做強。
金瑞泓科技副總經(jīng)理吳能云表示，02專項的實施及通過驗收，使企業(yè)在國內(nèi)半導(dǎo)體硅片領(lǐng)域的領(lǐng)先地位進一步得到鞏固，大幅度加大我國大直徑硅片的國產(chǎn)化步伐，打破了國外對8英寸半導(dǎo)體硅片高度壟斷的局面。同時，專項成果的應(yīng)用降低了國內(nèi)下游企業(yè)的生產(chǎn)成本，帶動了多晶硅等上游相關(guān)行業(yè)的發(fā)展，從而有力支撐了我國集成電路行業(yè)的開展。
“提升我國半導(dǎo)體硅片的整體水平是振興民族半導(dǎo)體工業(yè)、發(fā)展現(xiàn)代化信息業(yè)的重要環(huán)節(jié)，02專項的實施及通過驗收，使公司更有信心與能力建設(shè)以市場為導(dǎo)向、以創(chuàng)新為動力、產(chǎn)、學(xué)、研、用一體化的集成電路產(chǎn)業(yè)鏈，為加快推進我國集成電路的自主創(chuàng)新和可持續(xù)發(fā)展做出更大的貢獻?！眳悄茉普f。
上億元專項資金扶持
鑄就8英寸硅片“單項冠軍”
金瑞泓的硅片生產(chǎn)線包括拉晶、切割、研磨、拋光、外延等多道工藝，最終的成品硅片需要經(jīng)過幾十道工序。精密的材料對生產(chǎn)環(huán)境的要求也非常高，硅片的生產(chǎn)制造過程需要在潔凈室內(nèi)完成。企業(yè)的潔凈室內(nèi)要求每立方英尺空氣中大于等于0.1微米粒徑的灰塵數(shù)量不超過10顆，比醫(yī)院無菌室標(biāo)準(zhǔn)還高出許多。
為應(yīng)對激烈的國際競爭格局，金瑞泓科技多年來聯(lián)合浙江大學(xué)硅材料國家重點實驗室，以及中電13所、55所等高校院所，攜力克服困難，致力于高端大尺寸半導(dǎo)體硅片國產(chǎn)化工作。憑借多方的優(yōu)勢整合，終于實現(xiàn)了8英寸半導(dǎo)體硅片的大批量生產(chǎn)。
據(jù)了解，金瑞泓科技承擔(dān)的02專項在研討、論證、立項過程中，寧波市積極對接國家有關(guān)部委，推動項目落地。2010年10月項目立項以來，寧波市和保稅區(qū)兩級地方政府配套經(jīng)費7423萬元按期足額到位，有效推動了項目取得階段性研究成果和順利實施，加上國家等額的專項經(jīng)費扶持，企業(yè)獲得的專項扶持資金近1.5億元。寧波市科技局采取多種形式，對項目的研究進展情況和經(jīng)費使用情況進行督導(dǎo)檢查，并先后在2015年10月、2016年4月、2016年8月指導(dǎo)和幫助金瑞泓科技通過了02專項辦組織的現(xiàn)場檢查、現(xiàn)場測試和內(nèi)部驗收等工作，為項目順利通過正式驗收奠定了基礎(chǔ)。
寧波市相關(guān)負(fù)責(zé)人表示，將進一步加大集成電路產(chǎn)業(yè)扶持力度，并成立了首期規(guī)模100億元，按市場化機制運行的寧波市集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金，在積極引進骨干企業(yè)、加速企業(yè)培育、強化協(xié)同創(chuàng)新、提升專業(yè)化服務(wù)、優(yōu)化發(fā)展環(huán)境等幾方面大力培育發(fā)展集成電路產(chǎn)業(yè)，打造國家級集成電路特色工藝產(chǎn)業(yè)基地和專用材料產(chǎn)業(yè)基地，規(guī)劃建成長三角南翼的集成電路產(chǎn)業(yè)強市。“寧波市未來將會涌現(xiàn)出更多像金瑞泓科技一樣具有較強行業(yè)影響力的集成電路企業(yè)。”該負(fù)責(zé)人說。